FT-CZ1400Se

              12英寸半導體級單晶爐

              拉晶過程全程自動化

              在惰性氣體環境中,用石墨加熱器將硅材料熔化,

              用直拉法生長無位錯單晶的設備。

               

              性能優勢

              設備主體結構優化,提高了整機穩定性。

              具有拉制12英寸COP FREE半導體單晶硅棒的功能。

              采用新型隔離閥。

              液面高度監控系統。

              高精度傳動機構。

              雙層水冷套、可升降雙層水冷屏。

              12英寸半導體級單晶爐
              型號 FT-CZ1400Se
              場所 周圍溫度 15~30℃
              周圍濕度 ≤65%(無結露,腐蝕氣體)
              潔凈度 10000級凈空房
              噪音 ≤75db
              地基 3000kg/㎡以上
              電源 額定電壓 3P 380VAC±10%  50/60Hz
              額定電容 420kVA(主副合算)
              額定流量 650A(主副合算)
              冷卻水 流量范圍 500L/min
              供給壓力 0.3~0.4MPa
              重量 設備高度                                                                       <8290mm                                                            △      
              設備重量 約26T

               

               

              △ 項數據視上爐筒高度而定,本設備數據不含磁場。

              全國熱線

              021-36162928

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